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薄膜压力传感器的重要制作工艺有哪些?
作者:gz-junwf.com起源:本站时间:2019/6/14 10:50:14
压力传感器作为一种智能型产品,在很多领域都可以利用,那么传感器怎么制作?在处理细节时我们应当注意什么?今天就薄膜压力传感器的制作步骤进行详细的介绍。

范例溅射薄膜压力传感器的重要工艺流程如下图所示。其中,压力传感器是合成橡胶制作、研磨抛光、涂层、离子束蚀刻等四个要害工序。

弹性体的设计与制作:指弹性钢杯的结构设计与加工,热处理以打消应力。在这一环节中,断定了弹性体薄膜的基础参数,基础上决定了溅射薄膜压力传感器的输入输出关系。

研磨和抛光:合格的弹性体钢杯被研磨,抛光以满足抛光恳求,然落后一步细化。


涂层:交替蚀刻。采用离子束溅射沉积法在金属弹性体表面制备了一种粘附力强、膜均匀、致密、性能牢固的多层膜。

蚀刻:半导体光刻和蚀刻,或离子束蚀刻工艺,将电阻膜蚀刻到惠斯通电桥的电阻条图案中;将铅膜蚀刻到铅电极中。

桥梁微调:采用薄膜电阻补偿惠特斯通电桥臂电阻,并将传感器输出调剂到设计领域(理想零)。

焊接:采用激光焊接或电子束焊接技巧,将合格的芯片、支架和壳体用试压口焊接到底座上。压力接头的焊接压力敏感元件是一个要害的过程。采用大功率激光焊机或电子束焊机,焊接深度可达2.2mm。大批的焊接工艺实验表明,通过选择不同的焊接工艺参数,可以有效地打消焊接应力对传感器的不利影响。

铅内包装:焊接芯片引线通过金丝球焊或压力焊接工艺,从薄膜抗应变电极连接到托架上。

牢固性处理:对传感器进行各种环境实验,重复测量其输出,并对其牢固性进行检测。

数字校订:牢固后,根据预先设计的参数对传感器进行温度敏锐度和非线性等零补偿。

全部封装:表面处理,如喷涂补偿传感器芯片,以防止薄膜和电路的传感器芯片不受环境影响。

老化、实验:进行高低温、电应力老化实验和各种可靠性环境实验,如振动、冲击、疲劳、湿热、热真空等。


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